1、超纯水应用行业
超纯水:是指水中的导电介质几乎完全去除,同时不离解的气体、胶体以及有机物质也去除至很低程度的水。在一般情况下,我们把电导10.0μs/cm以上的称做普通纯水,电阻率大于1MΩ·CM称为超纯水,超纯水又分为几个级别,一般根据行业特点及客户具体要求来确认具体产水要求。
A、电子工业用超纯水设备------- 单晶硅、半导体晶片切割制造、半导体芯片、半导体封装、引线柜架、集成电路、液晶显示器、导电玻璃、显像管、线路板、光通信、电脑元件、电容器洁净产品及各种元器件等生产工艺用纯水。
B、一般工业用纯水设备------镀膜玻璃、电镀、表面涂装、纺织印染、工业配液、工业产品清洗等用水。
C、 精细化工行业用纯水设备------化工工艺用水、化学药剂、化妆品等用纯水。
2、超纯水工艺(1-18MΩ·CM,所有数据均为再线监测)
A、原水箱-增压泵-砂滤-碳滤-阳离子交换器-阴离子交换器-纯水箱-增压泵-混合离子交换器-超纯水箱(一般出水可达5MΩ·CM以上)
B、原水箱-增压泵-砂滤-碳滤-保安过滤器-RO反渗透-纯水箱-增压泵-混合离子交换器(一般出水可达10MΩ·CM以上)
C、原水箱-增压泵-砂滤-碳滤-保安过滤器-RO反渗透-纯水箱-增压泵-混合离子交换器-核能混床(一般出水可达15MΩ·CM以上)
D、原水箱-增压泵-砂滤-碳滤-软水器-PH调节-保安过滤器-RO反渗透-纯水箱-增压泵-EDI电去离子(一般出水可达15MΩ·CM以上)
E、原水箱-增压泵-砂滤-碳滤-软水器-保安过滤器-RO反渗透-PH调节-RO反渗透-纯水箱-增压泵-EDI电去离子-核能混床(一般出水可达18MΩ·CM以上)超纯水工艺:主要有阳阴离子交换+混合离子交换工艺;RO反渗透+混合离子交换工艺;RO反渗透+EDI工艺
2、中国国家电子级超纯水标准GB/T11446.1-1997
EW-Ⅰ级电阻率 18MΩ/cm (25℃)95%以上时间
EW-Ⅱ级电阻率 15MΩ/cm (25℃)95%以上时间
EW-Ⅲ级电阻率 2MΩ/cm (25℃)95%以上时间
EW-Ⅳ级电阻率 0.5MΩ/cm(25℃)95%以上时间